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国产光刻机出海潮！海思光刻机11月集中交付：12寸/8寸/6寸齐发日本等国

快科技11月9日消息，据江苏海思（HISIGK）官方披露，其11月迎来集中出货节点，一批全自动双面对准光刻机完成调试并整装待发。本次交付覆盖12寸、8寸、6寸多尺寸平台，分别发往日本MEMS制造企业、AR光波导头部企业及LED芯片企业。 本次交付的核心是5台12寸光刻机。其中3台采用FOUP天车自动上料方案，匹配12寸晶圆量产产线，实现上料、对准、曝光、下料全流程自动化。该机型可适配超表面光学、硅